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- ASAHI旭精工
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- DNL**灯
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产品详情
简单介绍:
空气分离设备用ENERGY氧气分析仪TF-21D201 北崎正在热卖
详情介绍:
空气分离设备用ENERGY氧气分析仪TF-21D201
空气分离设备用ENERGY氧气分析仪TF-21D201
TF-21D201/SH-30 系列
TF-21 传感器 / DTF-201 接收器
型号 SH-304
- 可分离的传感器和接收器
- 重量轻、结构紧凑 可集成到设备中
- 低浓度(0-10ppm 范围)
TF-21 传感器 / DTF-201 接收器
型号 SH-304
用法
- 半导体制造设备:扩散炉、RTP、各种N2 炉气氛测量、空气分离设备
规格
形式 | TF-21D201 (TF-21型传感器 + DTF-201型接收器) | |
---|---|---|
传感器 | TF-21 系列 | |
接收器 | DTF-201 系列 | |
测量原理 | 氧化锆灯罩电池工法 | |
测量范围 | *小 0-10ppm ~ *大 0-100% 零点固定,任意 4 个范围可选 | |
校对 | 空气点 + MAX.4 点校准 | |
强度 |
DC4~20mA × 1 点(非隔离输出,负载电阻 600Ω 以下) DC0~1V 或 DC0~5V 或 DC0~10V × 1 点选择(非隔离输出) |
|
样气 / 校准气体流速 | 0.5±0.02升/分钟 | |
准确性 | 重复性 | ±1%FS (小于 0~1% 范围) ±0.5%FS (高于 0~1% 范围) |
线性 | ±1%FS (0~1% 以上) ± 2%FS (小于 0~1%) ±3%FS (小于 0~100ppm) | |
响应时间 | 0-1% 或更高:10 秒或更短 0-1% 或更短:30 秒或更短 * 校准气体切换的 90% 响应 | |
漂移 | ±2%FS/周或更低 | |
电源 | AC85~132V *选项:AC170~264V,DC24V±10% | |
联系人输入 (非电压触点输入) | 范围切换输入 | |
触点输出 (集电极开路输出,25 VDC,*大 50 mA NO/NC 可切换) |
分析仪 异常 范围 回声(2 个量程识别) 范围 回声(3 个量程识别) READY 浓度上限 警报(0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置) 浓度下 限警报(0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置) * 可从上述选项中选择 4 个点,并可以更改设置。 |
|
范围切换 |
本地范围切换 / 远程范围切换 / 自动范围切换 * 您可以从上述设置中选择和更改设置。 |
|
输出 HOLD 设置 |
无 或 任意 值或 HOLD 在异常发生前 5 秒的值 * 预热、传感器和接收器异常时 HOLD |
|
浓度上限和下限警报 |
上限警报:0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 下限警报:0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 |
|
RS232C 通讯功能 |
传输测量状态、错误代码、测量范围和测量值 通信电缆规格:直线电缆 |
形式 | SH-304 型 | |
---|---|---|
传感器 | TF-21 系列 | |
接收器 | DTF-201 系列 | |
测量原理 | 氧化锆灯罩电池工法 | |
测量范围 |
0-10 / 100 / 1,000ppm,0-100% **小 0-10ppm ~ *大 0-100% 零点固定,可任意 4 个范围 |
|
校对 | 空气点 + MAX.4 点校准 | |
强度 |
DC4~20mA × 1点(非隔离输出、负载电阻600Ω以下) DC0~1V × 1点(非绝缘输出) |
|
样气 / 校准气体流速 | 0.3±0.05 升/分钟 | |
准确性 | 重复性 | ±1%FS (小于 0~1% 范围) ±0.5%FS (高于 0~1% 范围) |
线性 | ±3%FS (小于 0~100ppm) ±2%FS (小于 0~1%) ±4%FS (0~1% 或更高) | |
响应时间 | 0-1% 或更高:10 秒或更短 0-1% 或更短:30 秒或更短 * 校准气体切换的 90% 响应 | |
漂移 | ±2%FS/周或更低 | |
电源 | 直流24V±10% | |
联系人输入 (非电压触点输入) | 范围切换输入 | |
触点输出 (集电极开路输出,25 VDC,*大 50 mA NO/NC 可切换) |
分析仪异常 READY 浓度上限警报 (0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置) 浓度 下限警报 (0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置) 范围 回声 (2 个范围识别) 范围回显(3 范围识别) * 前 4 项是标准项,后 2 项也可以更改。 |
|
范围切换 |
自动量程切换 * 也可以选择远程量程和本地量程切换,并且可以更改设置。 |
|
输出 HOLD 设置 |
HOLD 在异常发生前 5 秒的值 * HOLD * 传感器和接收器异常时保持 * 无 HOLD,任何值都可以选择 HOLD。 |
|
浓度上限和下限警报 |
上限警报:0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 下限警报:0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 |
|
RS232C 通讯功能 |
传输测量状态、错误代码、测量范围和测量值 通信电缆规格:直线电缆 |
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