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  • 产品名称:空气分离设备用ENERGY氧气分析仪

  • 产品型号:TF-21D201
  • 产品厂商:ENERGY
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空气分离设备用ENERGY氧气分析仪TF-21D201 北崎正在热卖
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空气分离设备用ENERGY氧气分析仪TF-21D201


空气分离设备用ENERGY氧气分析仪TF-21D201

TF-21D201/SH-30 系列

用法

  • 半导体制造设备:扩散炉、RTP、各种N2 炉气氛测量、空气分离设备

规格

形式 TF-21D201 (TF-21型传感器 + DTF-201型接收器)
传感器 TF-21 系列
接收器 DTF-201 系列
测量原理 氧化锆灯罩电池工法
测量范围 *小 0-10ppm ~ *大 0-100% 零点固定,任意 4 个范围可选
校对 空气点 + MAX.4 点校准
强度 DC4~20mA × 1 点(非隔离输出,负载电阻 600Ω 以下)
DC0~1V 或 DC0~5V 或 DC0~10V × 1 点选择(非隔离输出)
样气 / 校准气体流速 0.5±0.02升/分钟
准确性 重复性 ±1%FS (小于 0~1% 范围) ±0.5%FS (高于 0~1% 范围)
线性 ±1%FS (0~1% 以上) ± 2%FS (小于 0~1%) ±3%FS (小于 0~100ppm)
响应时间 0-1% 或更高:10 秒或更短 0-1% 或更短:30 秒或更短 * 校准气体切换的 90% 响应
漂移 ±2%FS/周或更低
电源 AC85~132V *选项:AC170~264V,DC24V±10%
联系人输入 (非电压触点输入) 范围切换输入
触点输出
(集电极开路输出,25
VDC,*大 50 mA
NO/NC 可切换)
分析仪 异常
范围 回声(2 个量程识别)
范围 回声(3 个量程识别)
READY 浓度上限
警报(0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置) 浓度下
限警报(0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置)
* 可从上述选项中选择 4 个点,并可以更改设置。
范围切换 本地范围切换 / 远程范围切换 / 自动范围切换
* 您可以从上述设置中选择和更改设置。
输出 HOLD 设置 无 或 任意 值或 HOLD 在异常发生前 5 秒的值 * 预热、传感器和接收器异常时 HOLD
浓度上限和下限警报 上限警报:0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置
下限警报:0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置
RS232C 通讯功能 传输测量状态、错误代码、测量范围和测量值
通信电缆规格:直线电缆
形式 SH-304 型
传感器 TF-21 系列
接收器 DTF-201 系列
测量原理 氧化锆灯罩电池工法
测量范围 0-10 / 100 / 1,000ppm,0-100%
**小 0-10ppm ~ *大 0-100% 零点固定,可任意 4 个范围
校对 空气点 + MAX.4 点校准
强度 DC4~20mA × 1点(非隔离输出、负载电阻600Ω以下)
DC0~1V × 1点(非绝缘输出)
样气 / 校准气体流速 0.3±0.05 升/分钟
准确性 重复性 ±1%FS (小于 0~1% 范围) ±0.5%FS (高于 0~1% 范围)
线性 ±3%FS (小于 0~100ppm) ±2%FS (小于 0~1%) ±4%FS (0~1% 或更高)
响应时间 0-1% 或更高:10 秒或更短 0-1% 或更短:30 秒或更短 * 校准气体切换的 90% 响应
漂移 ±2%FS/周或更低
电源 直流24V±10%
联系人输入 (非电压触点输入) 范围切换输入
触点输出
(集电极开路输出,25
VDC,*大 50 mA
NO/NC 可切换)
分析仪异常
READY 浓度上限警报
(0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置) 浓度
下限警报 (0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置)
范围 回声 (2 个范围识别)
范围回显(3 范围识别)
* 前 4 项是标准项,后 2 项也可以更改。
范围切换 自动量程切换
* 也可以选择远程量程和本地量程切换,并且可以更改设置。
输出 HOLD 设置 HOLD 在异常发生前 5 秒的值 * HOLD
* 传感器和接收器异常时保持
* 无 HOLD,任何值都可以选择 HOLD。
浓度上限和下限警报 上限警报:0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置
下限警报:0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置
RS232C 通讯功能 传输测量状态、错误代码、测量范围和测量值
通信电缆规格:直线电缆


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