产品详情
  • 产品名称:BROOKS 布鲁克斯 蒸汽输送模块

  • 产品型号:VDM300
  • 产品厂商:BROOKS 布鲁克斯
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简单介绍:
在超洁净去离子蒸汽供应中实现*高的流量精度
详情介绍:

VDM300蒸汽输送模块


长处

  • 流量范围:3 slpm(DIW 蒸汽)
  • 直接水蒸气测量,具有出色的流量精度
  • 直接连接到厂内供水装置
  • 能够在*低温度下运行(不会过热)
  • 优化的冲洗和排水设计
  • EtherCAT数字通信
  • Brooks 专家支持工具 (BEST) 图形界面


优点
  • 成熟可靠的热式质量流量测量和控制技术
  • 兼容各种供水压力
  • 增强的防腐处理
  • 清洁制造
  • 使用模拟或数字通信的工具接口
  • 用于增强数据收集或故障排除的直接接口

用途
  • 硅半导体的后蚀刻工艺
  • 硅半导体金属带材工艺
  • 低气压环境下的超高洁净度加湿
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