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产品名称：BROOKS 布鲁克斯高温质量流量控制器
产品型号：5851EMH
产品厂商：BROOKS 布鲁克斯
产品文档：

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简单介绍：

久经考验的长期稳定性。超高清洁性能，适用于高温应用

详情介绍：

5850EMH 系列高温质量流量控制器

长处

高泄漏完整性（10-11 Pa.m3/s （10-10 atm.cc/s） He 或更低）
宽流量范围（0.003~100 slpm）
高纯度VAR 316L不锈钢
防止颗粒的形成
氦气泄漏止回口
常闭阀（提供常开阀选项）
电动阀门超控
低指令流截止
符合TTl标准的“阀门关闭”功能

优点

稳定且经过验证的产品平台
高达 100 lpm 的高流量性能（相当于 N2）
金属流路可提高气体清洁度并减少泄漏
专用模拟输入和输出，便于安装和维修

用

光纤制造 - MCVD、OVD、AVD
流量蒸汽流量控制

规格

	5850EMH	5851EMH
流量范围（满量程容量）	3 sccm - 30 slm （N2 等同）	10 - 100 slm （N2 等同）
精度	±1%FS	±1%FS
再现性	SP的0.25%< ±	< ±0.25% SP的
响应时间	3 秒至 SP 的 2% 以内（根据 SEMI E17-91）	3 秒至 SP 的 2% 以内（根据 SEMI E17-91）
模拟通信	0-5 伏直流电	0-5 伏直流电

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