GF80系列金属密封热式质量流量控制器/流量计

长处

• 长期零点稳定性：小于 0.5% 满量程/年
• 稳定时间：1 秒或更短
• 满量程流量高达 300 slpm
• 全金属密封流路：16 μ“ Ra 表面光洁度
• 耐腐蚀的哈氏合金®传感器可以在低温下工作，适用于容易发生热变性的气体
• 可配置的 MultiFlo™ 功能 - 在单个设备中支持数千种气体类型和范围组合，而无需断开气体管线或牺牲精度
• 有效的温度补偿，实现**的温度系数规格
• 自诊断常规和独立的诊断服务端口
• 纤薄的机身宽度，带 VCR 配件
• DeviceNet™、Profibus®、RS-485、模拟接口

优点

• 流量稳定时间小于 1 秒，可消除气体浪费和工艺可变性
• 可渗透氧气，不使用需要随着时间的推移而更换的弹性体密封件
• MultiFlo™ 简化和流水了工艺气体转换，无需去除或校准 MFC
• 可以在不到 60 秒的时间内设置新的气体和/或范围
• 测量精度不受温度波动的影响
• 易于访问诊断端口，以*大限度地延长生产正常运行时间
• 体积紧凑，可轻松集成到狭小的机器空间中，是改进的理想选择
• 多个协议通信接口简化了与现有系统的集成

用途

• 新型半导体工艺工具，用于对传统 MFC 进行经济高效的改造/升级
• 减少 6 英寸和 8 英寸半导体工厂的 MFC 库存
• 用于 LED 和功率器件制造的 MOCVD
• 太阳能/薄膜化学气相沉积 （CVD） 系统
• 分析OEM设备