GF40系列弹性体密封热式质量流量控制器/流量计

长处

• 可配置的多气体/多量程功能
• Brooks® MultiFlo™ 气体数据库基于数以千计的真实世界气体测试，以建立一种补偿功能
• 响应时间和 1% 的设定点精度，即使在繁重的应用中也是如此
• 与多种气体兼容
• 具有快速响应的哈氏合金传感器
• 独立于工具的通信系统，并配备易于访问的诊断服务端口
• 多协议通信选项，如 DeviceNet™、EtherCAT、® Profibus® 和 RS-485 模拟接口

优点

• 质量流量控制器 （MFC） 未从气体管路中移除，并且包括用于满量程范围的新型气体校准和 MultiFlo™ 技术，以*大限度地延长过程生产的正常运行时间
• 简单明了的 MultiFlo™ 编程：可在 60 秒内选择切换不同气体
• 减少了原始设备制造商和大型*终用户拥有的具有固定气体类型和流量范围的控制器的库存
• 基于全球标准的高性能测量系统和校准，可实现**的工艺气体精度
• 耐腐蚀传感器可使传感器保持长期稳定性，以确保*大的产量和吞吐量
• 用户可访问的服务端口简化了故障排除和诊断
• 弹性体密封件以合理的成本在各种应用中实现灵活的性能
• 多个协议通信接口支持集成到现有系统中

用途

• 太阳能电池CVD（化学气相沉积）系统
• 生命科学生物反应器
• 真空工艺
• 纳米技术/MEMS制造
• 等离子、玻璃和卷筒纸涂层系统
• 分集管/气体分配系统的选择