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  • 产品名称:MITSUIEC 三井电气纳米压印

  • 产品型号:TMR-02
  • 产品厂商:MITSUIEC 三井电气
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简单介绍:
该系统是一种用于测试的辊压印装置,其中通过EB光刻系统形成的辊压模具的小直径辊(Φ30)雕刻的纳米图案通过热固化方法转移到大直径辊上
详情介绍:

型号 TMR-02

型号 TMR-02

该系统是一种用于测试的辊压印装置,其中通过EB光刻系统形成的辊压模具的小直径辊(Φ30)雕刻的纳米图案通过热固化方法转移到大直径辊上,通过UV固化方法将小直径辊的图案转移到大直径辊上,并将这种大直径辊模的纳米图案转移到薄膜上。

【本设备规格】

压印方式 热固化法及UV固化法
轧辊基板 Φ300×150
压制对象 0.08~0.2吨
*大轧辊加压载荷 500N
单位面积载荷 3.92N/毫米²
涂布方式 尺寸压制法/逗号辊模法
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