产品名称：MEIWAFOSIS日本碳涂布机

现在可以在相同真空下涂覆两次的“4端子型号”（CADE-4T）

无间隙涂层可防止充电，并且来自两个气相沉积源的薄膜沉积改善了碳颗粒的周长。
薄膜和厚膜控制可防止W库损坏，也是FIB保护膜的理想选择。
可以在同一个真空中形成彼此重叠的薄膜，从而更容易形成厚薄膜。

相同真空+亲水处理功能下的碳沉积（CADE-E）

CADE-E具有等离子体处理功能。 由于等离子体处理和碳气相沉积可以在同一真空中进行，因此涂层后的亲水处理可以在连续过程中进行。
样品表面可在碳包覆前通过等离子放电进行清洗，碳包覆后可对碳支撑膜进行亲水处理。 由于样品可以在相同的真空下进行处理，而无需装载或卸载，因此可以在不与大气接触的情况下进行涂层，并且可以进行无污染的分析。

使用超纯（99.995%）碳纤维进行无杂质分析

碳纤维是一种由石墨纤维制成的定制产品，经过2000°C的高温处理，已*大限度地消除杂质。 纤维是超细、柔软的编织纤维，待沉积的碳颗粒涂有细粒径。
此外，CADE还实现了预热功能，允许在沉积前进行10秒的低温加热，以完全消散纤维中残留的痕量杂质，从而产生更纯净的沉积源。
此外，由于纤维只使用一次，因此没有杂质残留。 它是各种分析的理想选择，例如 SEM 观察、EDS 分析和 FIB 保护膜。

与机械笔碳涂布机的比较

机械笔的笔芯含有油和其他材料的混合物，便于书写。
在进行元素分析时，如果混合了另一种元素，则无法确定它是否是从Mr./Ms.衍生的元素，并且很难进行定量分析。
CADE的碳纤维由高纯度纤维制成，预热可去除杂质并提高纯度，从而沉积*佳薄膜以供分析。

低电流、短时间涂层，无热损伤

由于CADE的气相沉积源是纤维状的，因此电流容易流动，并且可以涂覆低电流（约35A）和短时间（1.7秒）。 在碳纤维棒类型中偶尔会看到由火花引起的热损伤，但 CADE 在碳纤维烧毁之前通过计时器控制来防止它。

碳棒类型的问题

× 设置难以设置且容易
折断的杆时要小心，因为如果拧紧松动，零件的阻力会很强，会储存热量，如果拧得太紧，芯子会断裂。 此外，在设置时需要时间和精力来磨练它。

× 由于涂层过程中产生火花而拉扯的热损伤
棒不易传递热量，必须承受大电流，从而导致样品的热损伤。

× 涂覆后，氧化杂质残留在剩余的碳棒上一旦凝固，可多次使用，但每次更换拉/拉搓时，氧化物残留在剩余的碳棒上，
导致含有杂质的薄膜不均匀且不可重复。

整个过程只需5分钟即可完成

气相沉积源的碳纤维的附着就像在电极之间夹住它一样简单。 柔软的纤维使其易于操作，只需轻轻一按即可安装。
此外，还使用了 136 l/min 的大型真空泵，可以在很短的时间内进行加工。

高度可重复的一次性涂层

可重复的膜厚可以通过真空和样品台距离轻松控制。 此外，CADE具有1.7秒的恒定涂层时间，因此通过预先确定真空度和载物台距离，具有高度的可重复性，无论谁进行加工，都可以达到相同的膜厚。
* 由我们的 FS-1 椭圆仪测量的结果

用于测量的多光谱椭圆仪

• 四色LED光源和用于椭偏光谱分析的**新MWE技术
• 埃纳米薄膜的薄膜测量
• 安装在MBE、MOCVD、CVD、ALD、溅射等上，对气相沉积薄膜进行原位高速测量和评估