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简单介绍：
利用脉冲真空电弧放电的新型纳米粒子形成装置
脉冲真空电弧沉积是**能够以简单的过程产生金属离子并形成超薄膜和纳米粒子的方法。
可以得到膜的平坦性、微粒的形成等其他蒸镀法无法得到的效果。
详情介绍：
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APD-S（基板沉积模型）
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APD-P（粉末支撑模型）
使用纳米粒子的燃料电池催化剂、废气催化剂、光催化剂、VOC分解催化剂、碳纳米管催化剂、等离子体激元
- 通过改变电容器的电容，纳米颗粒的粒径可以在约1.5 nm至6 nm之间自由选择。
-
任何材料只要是导电材料（靶材）都可以变成等离子体
*靶材的比电阻为0.01Ωcm或更小 - 通过改变气氛很容易生成氧化物和氮化物。
- 与湿法相比，负载纳米粒子表现出高活性的催化效果
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