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简单介绍：
该装置是一种高灵敏度热膨胀仪，采用双路迈克尔逊干涉仪，采用线偏振氦氖激光器。它具有内置振动隔离机制，可防止振动干扰的影响。因此，在能够稳定使用一般分析电子天平（分辨率0.01mg）的环境下，能够以1×10-8/K以下的精度测定热膨胀系数。它还可用于低膨胀系数材料的热膨胀系数的**测量，为材料开发和生产线的质量控制提供支持。
详情介绍：
- 通过在装置内部内置防振机构，可以防止振动干扰的影响，并且可以在可以稳定使用普通分析电子天平（分辨率0.01mg）的环境中进行测量。 （**申请2016-058190、058191、058192）
- 根据激光波长（632.8nm）测量样品的位移。通过集成光学元件，可以消除杂散光，提高干涉条纹信号的信噪比。不需要特殊的位移校准测量或操作。
- 通过用图像传感器检测干涉条纹并处理图像，即使在样品测量期间也可以高分辨率（1 nm）计算位移量（膨胀/收缩），并可以确认膨胀率。
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