产品名称：RIGAKU日本理学 荧光X射线分析仪

兼容微量元素浓度和成分分析

兼容从轻元素到重元素的多种元素：  4 Be 到92 U

高灵敏度硼检测仪AD-Boron 

我们不断开发新的光学系统，例如改进硼分析功能，以提高分析精度和稳定性。此外，恒温机构和真空度稳定机构是用于稳定的标准设备。

XY-θ驱动台

XY-θ 驱动的样品台和测量方向设置程序可实现整个晶圆表面上的**薄膜厚度和成分分布测量。铁电薄膜也不受衍射线的影响。

应用

半导体器件 BPSG、SiO 2、Si 3 N4、掺杂多晶硅（B、P、N、As）、Wsix、Al-Cu、TiW、TiN、TaN、PZT、BST、SBT、MRAM ……
金属膜 W、 Mo、Ti、Co、Ni、Al、Cu、Ir、Pt、Ru、...
磁盘 CoCrTa、CoCrPt、...DLC、...NiP、...
磁光盘 Tb-FeCo、・
磁性磁头 GMR、TMR、・・

丰富的固定测角仪阵容

我们根据膜厚度和膜结构提供*佳的固定测角仪。我们还有一个专用的光学系统，可以分析硅晶圆上的 Wsix 薄膜。

全自动设备日常管理功能AutoCal

为了获得准确的分析值，必须正确校准仪器。为此，必须定期测量检查晶圆和PHA调整晶圆作为管理晶圆，以保持设备处于良好状态。这种日常校准工作是完全自动化的，减少了操作员的工作量。这就是“AutoCal 功能”。

兼容C to C自动传输

除了开放式盒式磁带外，它还兼容 SMIF POD。兼容200mm以下的晶圆。另外，可与上位机进行SECS通信，并兼容各种CIM/FA。

紧凑节能设计主机设计紧凑，占地面积小于1平方米。采用无油变压器，辅助设备紧凑，节能设计。

产品名称	WDA-3650
方法	同时波长色散 X 射线荧光 (WD-XRF)
目的	适用于*大 200 毫米晶圆的多层堆叠的厚度和成分
技术	4 kW X 射线发生器，带 XYθ 样品台、Rh 阳极 WDXRF
主要成分	*多20个通道，固定型(₄Be~₉υU)，扫描型(22Ti~₉у)
选项	高灵敏度AD-硼通道，具有C-to-C自动加载器的自动校准功能
控制（电脑）	内部 PC、MS Windows® 操作系统
机身尺寸	1120（宽）x 1450（高）x 890（深）毫米
大量的	600公斤（本体）
电源	三相 200 VAC 50/60 Hz，30 A 或单相 220-230 VAC 50/60 Hz 40 A