产品名称：RIGAKU日本理学 波长色散X射线荧光分仪

用于薄膜评估的荧光 X 射线分析仪
一个单元涵盖了从Be到U的所有元素，包括作为半导体材料很重要的B、C、N和O。
波长色散X射线荧光光谱仪（WDX）的**型号
采用具有高信噪比和高分辨率的WDX，与能量色散X射线荧光光谱仪（EDX）相比，可实现高精度分析。 。使用高功率X射线管和专门为超轻元素设计的分光晶体，可以测量B、C、N和O等超轻元素，这是EDX无法实现的。此外，即使是由于Si的影响而难以用EDX分析的超薄Al膜，也可以使用高分辨率的WDX清晰地分离出峰。
够测量超轻元素
我们已经实现了B的高灵敏度分析，B用于通用存储器和磁头等磁性材料。使用FP法，还可以同时分析膜厚和成分。

可进行超薄膜分析
MRAM 的重要材料 MgO 膜中，可以高精度地区分 0.1 nm 的膜厚差异。预计未来薄膜将变薄至 0.5 nm 左右，但 AZX 400 将能够进行足够的分析。
多层薄膜分析
AZX 400 使用 FP 方法对*多 10 层的层压薄膜进行全层分析。利用 STT-MRAM，可以在一种配方中分析 MgO 和 CoFeB 等重要薄膜以及 Ta、Ru、PtMn 等。

使用灵敏度库进行无标准分析 
使用 SQX 软件（可选）进行半定量分析对于难以制备标准样品的应用非常有效。考虑到晶圆分析特有的干扰衍射线的影响，并且可以选择多个光谱，从而可以分析比传统方法宽一个数量级的膜厚。
兼容各种样品形状，从大型样品到切割晶圆，
大型样品室可支持*大 φ400mm x 50(H)mm 的样品尺寸（*大重量 30kg）。为了适应各种样品形状，我们提供适合样品的适配器。从300mm晶圆的大型溅射靶材到晶圆切割，一台机器即可灵活处理。

带晶圆装载机的自动传输（新功能）
可从 300mm FOUP 到 100mm 开放式晶圆盒（可选）。可以在夜间等进行全自动分析，提高分析工作的效率。
配备用于样品观察的 CCD 相机
CCD 相机（可选）可以测量异物、图案等。您可以在查看图像时设置*小直径为 0.5 mm 的任意测量点。面内分布测量一次*多支持 999 个点。此外，结合高精度样品台，实现了0.1mm步长的分析。