RIGAKU日本理学反射荧光X射线分析仪 TXRF-V310 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：RIGAKU日本理学反射荧光X射线分析仪
产品型号：TXRF-V310
产品厂商：RIGAKU日本理学
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简单介绍：

这是一种采用全内反射荧光X射线法，以非破坏性、非接触方式高灵敏度分析晶圆表面污染情况的装置。兼容300mm和200mm晶圆，可以分析从轻元素Na到重元素U的极痕量污染元素。采用载物台驱动系统，消除晶圆衍射X射线的干扰。

详情介绍：

可以进行准确且高精度的污染物元素分析。全球首款也是**一款内置 VPD 的 TXRF-V310 实现了过渡金属 106 个原子/cm2 水平的检测极限。配备了多种功能，例如用于晶圆表面内高速污染映射测量的“Sweeping-TXRF功能”、可实现晶圆边缘附近测量的“ZEE-TXRF功能”以及新开发的「斜角恢复VPD功能」，非常适合半导体量产工艺，为工艺开发中的污染控制提供强有力的支持。

产品名称 TXRF-V310

方法全内反射荧光X射线（TXRF）/气相分解（VPD）

目的微量元素表面污染的测量

技术自动 VPD 准备、3 光束激发和自动光学对准

主要成分自动VPD、旋转阳极阴极X射线源、XYθ样品台、无液氮检测器

选项用于全工厂自动化的 GEM-300 自动化软件

外部（电脑）内部 PC、MS Windows® 操作系统

机身尺寸 1200（宽）×2050（高）×2990（深）毫米

重量 1650公斤（身体）

电源三相 200 VAC 50/60 Hz，125 A

产品名称	TXRF-V310
方法	全内反射荧光X射线（TXRF）/气相分解（VPD）
目的	微量元素表面污染的测量
技术	自动 VPD 准备、3 光束激发和自动光学对准
主要成分	自动VPD、旋转阳极阴极X射线源、XYθ样品台、无液氮检测器
选项	用于全工厂自动化的 GEM-300 自动化软件
外部（电脑）	内部 PC、MS Windows® 操作系统
机身尺寸	1200（宽）×2050（高）×2990（深）毫米
重量	1650公斤（身体）
电源	三相 200 VAC 50/60 Hz，125 A

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产品名称：RIGAKU日本理学 反射荧光X射线分析仪

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