NAPSON纳普森电阻率参考晶圆 NRW-5-550 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：NAPSON纳普森电阻率参考晶圆
产品型号：NRW-5-550
产品厂商：NAPSON纳普森
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简单介绍：

电阻率参考晶圆 NRW 系列

详情介绍：

产品特性和功能

NRW 系列是一种参考硅晶圆，已通过电阻测量**制造商 Napson 的电阻率评估和认证。它使用具有出色稳定性的中子辐照晶圆。

Napson 的四探头电阻测量仪器由电阻率标准晶圆（NIST、VLSI）校准，并符合以下 SEMI 标准、日本工业标准（JIS）和美国材料与试验协会（ASTM）标准。

< 标准>
[SEMIl 标准]
SEMI-MF43-99、SEMI-MF374-02、SEMI-MF84-02、SEMI-MF1529-02
[美国测试协会和材料）]
ASTM-F-84-99（SEMI-MF84）， ASTM-F-374-00a， ASTM-F-390-11， ASTM-F-1529-97
[日本工业标准]
JIS-H-0602-1995

测量规格

通用规格

材质：硅胶
制造方式：FZ法
表面光洁度：包裹
晶体方向：（1-1-1）±1度
掺杂：N型（磷）
晶圆尺寸：Φ100mm（4英寸）
晶圆厚度：*因电阻率类型而异。请参阅下表。

晶圆产品阵容/规格

类型	电阻率（Ohm.cm）	晶圆厚度（μm）	薄层电阻（Ohm/sq） * 计算值
NRW-1-28	28.00 ±2.00	559.00 ±25.00	约500人
NRW-2-110	110.00 ±11.00	580.00 ±10.00	约2,000人
NRW-3-200	200.00 ±12.00	675.00 ±25.00	约3,000人
NRW-4-330	330.00 ±25.00	675.00 ±25.00	约5,000人
NRW-5-550	550.00 ±50.00	450.00 ±25.00	约12,000人

电阻率测量保证精度

保证位置	精度
中心面积（*距晶圆中心φ5mm光斑）	± 3 %

* 在纳普森的评估标准环条件/边界下保证精度

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