产品名称：NAPSON纳普森非触式嵌电阻率测量模块

产品特性和功能

多点多点测量

非接触式非接触式

电脑和软件

直插式模块

用于集成到用户侧生产线和运输机器人中的测量模块

• 根据所需的电阻测量范围确定探头数量和探头类型
• 命令/测量数据通过LAN连接传送到主机PC。

测量规格

测量目标

• 半导体和太阳能电池材料（硅、多晶硅、碳化硅等）
• 新型功能材料（碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等）
• 导电薄膜（金属、ITO等）
• 化合物半导体（GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等）
• 其他（*请联系我们）

目标大小

2 ~ 8 英寸，~156×156 毫米
（可选;~12 英寸，~210×210 毫米）

测量范围

[电阻率] 1m~200Ω·cm
（*所有探头类型的总量程/厚度500um）
[片状电阻] 10m~3kΩ/sq
（*所有探头类型的总量程）
[厚度] 500~800μm

*每种探头类型的测量范围请参考以下内容。
（1）低：0.01~0.5Ω/□（0.001~0.05Ω·cm）
（2）中：0.5~10Ω/□（0.05~0.5Ω·cm）
（3）高：10~1,000Ω/□（0.5~60Ω·cm）
（4）S-高：1,000~3,000Ω/ □（60~200Ω·cm）