产品名称：NAPSON纳普森非触式电阻半自动测量仪

产品特性和功能

多点多点测量

非接触式非接触式

电脑和软件

电阻测量仪，种类繁多，有多种类型的非接触式探头
（探头数量和探头类型可根据要求更改）

• 从 8 mm 的边缘进行多点测量
• 非接触式涡流方法可实现无损伤测量
• 测量模式可编程和 2-D/3-D 映射软件

*可选：晶圆厚度测量探头

测量规格

测量目标

• 半导体和太阳能电池材料（硅、多晶硅、碳化硅等）
• 新型功能材料（碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等）
• 导电薄膜（金属、ITO等）
• 化合物半导体（GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等）
• 其他（*请联系我们）

目标大小

2~8寸
（可选;12寸）

测量范围

[电阻率] 1m~200Ω・cm
（*所有探头类型的总量程/500um厚度）
[片状电阻] 10m~3kΩ/sq
（*所有探头类型的总量程）

*每种探头类型的测量范围请参考以下内容。
（1）低：0.01~0.5Ω/□（0.001~0.05Ω·cm）
（2）中：0.5~10Ω/□（0.05~0.5Ω·cm）
（3）高：10~1,000Ω/□（0.5~60Ω·cm）
（4）S-高：1,000~3,000Ω/ □（60~200Ω·cm）

产品尺寸

W780×D580×H375mm
约70kg