产品详情
  • 产品名称:THERMOCERA日本LTE有机气相沉积源

  • 产品型号:LTE5
  • 产品厂商:THERMOCERA日本K.K
  • 产品文档:
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简单介绍:
用于有机薄膜材料的气 相沉积源在低温(80至600°C)下具有出色的控制和响应能力 稳定的 沉积速率易于 填充和更换坩埚
详情介绍:

主要技术指标

 

  • 坩埚材料:石英(标准)、氧化铝
  • 坩埚容积:1cc(LTE1)、5cc(LTE5)
  • 表壳:SUS304
  • 顶板:氧化铝
  • 温度传感器:K型热电偶
  • 固定:M6固定支架(或CF、ISO法兰)

LTE控制器

参考图 (Φ2“ Flexihead)

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