产品详情
  • 产品名称:THERMOCERA日本K.K有机膜和金属膜沉积系统

  • 产品型号:nanoPVD-T15A
  • 产品厂商:THERMOCERA日本K.K
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简单介绍:
小型、高性能 、高性能有机膜和金属膜沉积设备
详情介绍:
这是一种高性能的“有机薄膜和金属薄膜沉积”系统。 采用Moorfield专有的LTE1有机气相沉积源,具有优异的温度响应、稳定性和重现性,采用TE1-Box屏蔽金属材料沉积源。 适用于OLED、OPV、OTFT等有机薄膜沉积和金属材料沉积。 该多功能装置可配备多达2个金属沉积源和多达4个有机气相沉积源,并能够自动连续多层沉积和同时沉积。 我们响应研发领域的各种要求。

出色的基本性能

 

  • **真空 5x10-5 Pascal
  • SUS304 高真空室
  • 快速真空到达(约 10 分钟至 1x10-3Pa)
  • T/S调节距离:300mm 均匀气相沉积膜

高性能系统

 

  • 7 英寸触摸屏,用于集中管理所有操作、薄膜沉积控制和数据管理
  • 自动连续多层
  • 共沉积(*LTE有机源)
  • APC控制(PID自动压力控制)
  • PLC自动排序(吸尘和排气)操作

很多选择

 

  • 电路板旋转、上/下和下降
  • PCB加热器 500°C
  • PCB快门、光源快门
  • 快速排气(至少 6 分钟)

主要技术指标

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