产品详情
  • 产品名称:THERMOCERA日本射频/直流磁控溅射系统

  • 产品型号:nanoPVD-S10A-WA
  • 产品厂商:THERMOCERA日本K.K
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简单介绍:
高性能射频/直流磁控溅射系统, 连续多层薄膜,双源同时沉积,APC自动压力控制
详情介绍:
高性能射频/直流磁控溅射系统。 虽然体积小,但即使是追求高性能且不影响薄膜质量的用户,例如一般金属薄膜、绝缘体和化合物,它也是一种设备。 它还适用于具有多达 3 个源极阴极、多层连续薄膜和共沉积(***射频和直流组合)的应用。 还有多种选择,例如加热器、旋转和提升、磁性材料阴极以及使用电容压力计进行高精度压力控制。

出色的基本性能

 

  • **真空 5x10-5 Pascal
  • SUS304 高真空室
  • 快速真空到达(约 10 分钟至 1x10-3Pa)
  • 薄膜均匀性:±3%(绝缘膜),±5%(金属膜)

高性能系统

 

  • 7 英寸触摸屏,用于集中管理所有操作、薄膜沉积控制和数据管理
  • 自动连续多层沉积控制
  • 共沉积(*RF-DC和DC-DC双源同步沉积)
  • APC控制(PID自动压力控制)
  • PLC自动排序(吸尘和排气)操作

很多选择

 

  • 电路板旋转、上/下和下降
  • PCB加热器 500°C
  • MFC x 3(Ar、O2、N2)反应溅射
  • 用于磁性材料的高强度磁铁选项
  • 快速排气(至少 6 分钟)


主要技术指标



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