产品详情
  • 产品名称:THERMOCERA日本纳米炉热CVD系统

  • 产品型号:BWS-NANO-2.5
  • 产品厂商:THERMOCERA日本K.K
  • 产品文档:
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简单介绍:
紧凑型、热壁式、热压 CVD 基板尺寸:Φ2.5英寸或Φ4英寸
详情介绍:

纳米炉模型。 BWS-纳米

【热壁式热压电阻断系统】紧凑型高性能恒压压阻断系统,是基础研究的理想选择

 

  • 石墨烯、碳纳米管
  • ZnO纳米线
  • 绝缘膜,如SiO2等

此外,它还可以作为热墙式热CVD系统广泛使用。

特征

 

  • 在紧凑的系统中可以进行高质量的沉积实验。
  • 热壁式均匀加热反应管内部
  • 4 个系统(CH4、Ar、H2、起泡器) MFC高精度流量控制:精度±1% F.S.
  • 带电容压力计的高精度APC压力控制
  • 使用Lab View软件(可选)进行远程控制,进行数据分析

原理图规格

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