产品详情
  • 产品名称:THERMOCERA日本台式超高温气氛实验反应器

  • 产品型号:TE series
  • 产品厂商:THERMOCERA日本K.K
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简单介绍:
这是一种台式超高温多气氛实验反应器,可以处理氮气、氧气、氦气、氩气、氢气等各种气氛。
详情介绍:

TE系列超高温台式多气氛实验反应器“热边缘”

 
电炉从吸尘、吹扫到排气的操作均为PLC半自动式。 无需手动打开和关闭阀门等复杂操作,可以通过触摸屏进行集中管理。
台式紧凑的尺寸,可以有效利用实验室的有限空间。

特征

 

三种类型的炉加热器/保温材料扩大了碳炉的应用范围。

  • C/C复合加热器
  • SiC3(碳化硅)涂层加热器
  • TiC3(碳化钛)涂层加热器

 

将多种功能集成到紧凑的机身中

  • 节省空间:889 (W) x 503 (D) x 629 (H) mm
  • 圆柱形加热器(用于坩埚)和平面加热器(用于晶圆烧制)
  • 联锁(冷却水、腔室表面温度、加热器过热、真空、腔室开闭)
  • PLC半自动操作:(吸尘/吹扫×3次循环排气)
  • 观察视口(可选)

原理图规格

电炉控制单元

● 温度控制器:Eurotherm 'nanodaq' 或 RKC PF900
● 数字真空计:MKS micro Pirani 真空计
● 触摸屏:西门子 SIMATEC HMI(或三菱)

定制规格和选项

 

  • 前视口
  • 额外的进气口
  • MFC等气体控制设备
  • APC自动压力控制
  • 观察视口
  • 用于样品测量,热电偶
  • 此外,我们还将制造定制规格。 请联系我们。
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