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- HIKARIYA光屋检查灯
- HEIDON新东搅拌机
- SOLAX/SERIC索纳克...
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- NEWKON新光针孔机
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- JIKCO吉高浓度计
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- ASAHI旭精工
- DSK电通荧光灯
- DNL**灯
- ORIHARA折原应力仪
- NIKKATO日陶研磨球
- NDK日本电色雾度计
- DRY-CABI德瑞卡比防潮...
产品详情
简单介绍：
通过在Mini-BENCH中添加PLC自动序列来提高可操作性 [Mini-BENCH-prism]
详情介绍：
PLC半自动控制 台式Mini-BENCH**型号
的半自动控制型“吸尘”和“排气”电炉操作的自动顺序控制（手动调节气体流量→针阀），并
监测冷却水异常、腔室温度异常和超压异常。 由SUS坚固的水冷室制成，即使在*高温度下连续使用也能**使用。
的半自动控制型“吸尘”和“排气”电炉操作的自动顺序控制（手动调节气体流量→针阀），并
监测冷却水异常、腔室温度异常和超压异常。 由SUS坚固的水冷室制成，即使在*高温度下连续使用也能**使用。
特征
- 节省空间：603 （宽） x 603 （深） x 1,170 （高） mm
- PLC半自动操作：（吸尘/吹扫×3次循环排气）
- 联锁（冷却水、腔室表面温度、加热器过热、真空、腔室开闭）
- 圆柱形加热器（用于坩埚）和平面加热器（用于晶圆烧制）
- 工作气氛：真空、惰性气体、还原气氛
*订购时请按照以下说明进行操作。
・要求的设备配置（A或B以上）、
炉膛加热范围、尺寸
、样品材料、形状
、烧成温度条件
、炉膛气氛（真空烧成、气体类型）
原理图规格
加热器
- 平面加专线（晶圆用）：C/C复合材料（或钨）
- 圆柱形加热丝（坩埚用）：C/C复合材料（或钨）
* 根据加热范围的尺寸，平面加热器和圆柱形加热器可以组合使用，以实现整个坩埚的均匀加热。
电炉控制单元
选项和定制规格
- 高真空泵
- 前视口
- 额外的进气口
- MFC、APC自动压力控制等气体控制装置
- 此外，我们将根据您的要求回复定制信件。 请联系我们。
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