产品详情
  • 产品名称:THERMOCERA日本台式超高温实验炉

  • 产品型号:Mini-BENCH-Φ1
  • 产品厂商:THERMOCERA日本K.K
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简单介绍:
超紧凑台式超高温实验炉, 适用于各种研发应用[Mini-BENCH]系列
详情介绍:
我们根据您的预算和目的,从*低配置(加热器/腔室+控制箱)中提出*合适的碳炉系统(真空、惰性气体、还原气氛)。

Φ80mm内径坩埚感应样品,Φ1~4英寸晶圆烧制 体积小,操作简单 温度快速升至2000°C!
可广泛应用于SiC和GaN器件的基础研究、新材料及材料的开发、其他先进的基础研究、产品开发等部门。

特征

 

  • 桌面尺寸小,可以安装在实验室的有限空间内。
  • 我们将根据所需的烧制条件响应定制设计。
  • 我们将提出适合您预算的设备配置。

 

【设备配置】

 

(a) 腔室 + 控制箱
(b) 腔室 + 控制箱 + 真空排气系统(泵、仪表、阀门、真空管道)

 

*订购时请按照以下说明进行操作。

・要求的设备配置(A或B以上)、
炉膛加热范围、尺寸
、样品材料、形状
、烧成温度条件
、炉膛气氛(真空烧成、气体类型)

原理图规格

加热器

 

  • 平面加专线(晶圆用):C/C复合材料(或钨)
  • 圆柱形加热丝(坩埚用):C/C复合材料(或钨)

* 根据加热范围的尺寸,平面加热器和圆柱形加热器可以组合使用,以实现整个坩埚的均匀加热。

Mini-BENCH控制箱

 
可编程温度控制器、直流电源(或外部变压器)、工作端、电流表和腔室开关设备*装在一个紧凑的盒子里。 它包含Mini-BENCH基本操作所需的一切。
 

*** Φ3 和 4 英寸尺寸的腔室。

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