THERMOCERA日本SH加热器 SH-IN 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：THERMOCERA日本SH加热器
产品型号：SH-IN
产品厂商：THERMOCERA日本K.K
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简单介绍：

高真空、高性价比的高温加热器，非常适合惰性和活性气体中的薄膜实验

详情介绍：

SH 系列 Incone/BN 板基板加热器使用气密加热器块来防止工艺气体和体积进入，使其成为 CVD 等薄膜实验的理想选择。 *高工作温度：*大850°C（SH-IN），MAX1100°C（SH-BN），加热有效面积：φ1.0至6.1英寸。标配基板固定夹（固定在屏蔽外壳表面）和K型护套热电偶，还可以制造可选的真空引入法兰（ICF、VG、NW等）、电路板旋转机构、基板法兰和基板偏置规格。

用

薄膜形成（CVD、溅射、PLD、真空沉积等）
薄膜应力分析
金刚石薄膜
退火设备
其他

使用的加热元件

NiCr加热元件
钨加热元件

顶板材料

Inconel 600 板（SH-IN）
BN板，钼盖（SH-BN）

主要技术指标

目标轮播（自动目标旋转）

PLD（脉冲激光沉积）1英寸，2英寸目标 x 3

总结

对于PLD设备，准分子激光目标的照射可以均匀。

目标尺寸：1英寸、2英寸
目标数量：*多 3 个
连接法兰：8英寸（ICF203）
可自转（旋转切换，旋转目标旋转）
19 英寸机架式，带专用控制器

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产品名称：THERMOCERA日本SH加热器

用

使用的加热元件

顶板材料

主要技术指标

目标轮播（自动目标旋转）

总结