产品详情
  • 产品名称:THERMOCERA日本HT加热器

  • 产品型号:HT○W○○-○○-08
  • 产品厂商:THERMOCERA日本K.K
  • 产品文档:
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简单介绍:
带有 SiC3 和 TiC3 加热器的超高温定制加热器。 高规格基板加热阶段,可承受需要高纯度、耐热性和耐腐蚀性的恶劣工艺环境。
详情介绍:

HT系列采用碳化硅(SiC3)和碳化钛(TiC3)涂层线材,满足对高纯度、耐腐蚀性和耐热性的苛刻工艺环境的要求。 规格条件请告知我们,我们将根据客户的要求每次定制。

*由于是针对超高温的,我们推荐水冷式规格。

  • 真空薄膜形成(CVD、溅射、ALD、PLD、MBE 等)
  • 薄膜应力和热分析
  • 晶圆退火加热阶段
  • 其他

加热元件、*高温度(板温)、使用环境

型号配置

原理图规格

外形图和参考照片

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