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产品详情
简单介绍：
超高温、超高真空、高规格的“多功能”基板加热平台，具有三种加热器材料可供选择，适用于广泛的应用。
详情介绍：
VH（多功能加热器）通过对外壳、屏蔽层、电极部件、加专线等进行标准化，与传统方法相比，缩短了从生产到交付的时间。 加热器系列采用 SiC3 涂层、TiC 涂层和 PG/PBN 加热器，支持广泛的应用。
* 根据使用条件，可能会推荐带有水冷机构的类型。
用
- 真空薄膜形成（CVD、溅射、ALD、PLD、MBE 等）
- 薄膜应力和热分析
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加热元件、*高温度（板温）、使用环境
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型号
◉ SiC3涂层石墨丝 Max1000°C
◉ TiC3涂层石墨丝 Max1600°C
◉ PG/PBN线 Max1200°C
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