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- SAKAGUCHI坂口电热加...
- KOYO光阳
- LUBE泵阀
- KURABO久保田脱泡机
- MCRL村上分光测色仪
- NIPPONMUKI无机过滤...
- ORC欧阿希照度计
- USHIO牛尾UV灯
- SAKURAI樱井打印纸
- KEYENCE基恩士
- LUCEO鲁机欧应力仪
- SANEI三荣电机
- NPM日脉电机马达
- NBK锅屋工装夹具
- AKRIBIS雅克贝斯精密平...
- COSMO科斯莫检漏仪
- SAMJUNG禅才离子风棒
- SUMITA住田光纤
- HAYASHI林时计光纤光源
- METROL美德龙
- VALQUA华尔卡配管部品
- CHINO千野温湿度计
- HIKARIYA光屋检查灯
- HEIDON新东搅拌机
- SOLAX/SERIC索纳克...
- SANKO山高膜厚计
- ITOH伊藤粉碎机
- NEWKON新光针孔机
- ONOSOKKI小野编码器
- ELMEX安科生物涂抹棒
- AxoScan美国
- MITSUI ELECTRI...
- FUJICOM富士
- HAYASHI林时计
- Navitar纳维塔尔镜头
- KANETEC强力脱磁装置
- NPM日本脉冲电机
- YUASA尤阿萨折弯机
- UNILAM优尼光紫外灯
- POLARION普拉瑞探照灯
- AND艾安得
- JIKCO吉高浓度计
- IIJIMA饭岛酸素计
- SPAIR日信工具
- Axometrics美国
- ASAHI旭精工
- DSK电通荧光灯
- DNL**灯
- ORIHARA折原应力仪
- NIKKATO日陶研磨球
- NDK日本电色雾度计
- DRY-CABI德瑞卡比防潮...
产品详情
简单介绍：
高真空兼容 3 种加热器材料选项。
可应用于PVD（溅射、气相沉积、EB等）、高温真空退火、高温分析基板等。
详情介绍：
Φ1、2、4寸 Φ1、2、4寸真空薄膜实验基板加热加热器，供高校、科研院所使用。 提供三种类型的加热器线选项（Kanthal、C/C 复合材料、Ta）。 可作为各种薄膜实验的基板加热台。
* 根据使用条件，建议使用带有水冷机构的类型。
加热元件、*高温度（板温）、使用环境
| 加热元件材料 | *高温度 | 使用氛围 |
|---|---|---|
| 康塔尔 | 800°摄氏度 | 真空、惰性气体、O2、大气 |
| C/C复合材料 | 1600°C* | 在真空中，惰性气体 |
| 钽 | 1200°摄氏度 | 真空、惰性气体、还原气体 |
* 需要冷却
Φ1寸加热器外观（有效加热范围Φ26.5mm）
| 零件编号 | 加热元件 | 盘子 | 外壳护罩 | *高温度 | 热电偶 |
|---|---|---|---|---|---|
| BHS-1KA-P-R0型 | 康塔尔 | 氮化 铝 | SUS304 或 Mo | 800°摄氏度 | K |
| BHS-1CC-P-R0型 | C/C复合材料 | 氮化 铝 | SUS304 或 Mo | 1600°摄氏度 | C |
| BHS-1Ta-P-R0型 | 钽 | 氮化 铝 | SUS304 或 Mo | 1400°摄氏度 | C |
Φ2英寸加热器外观（有效加热范围Φ54.0mm）
| 零件编号 | 加热元件 | 盘子 | 外壳护罩 | *高温度 | 热电偶 |
|---|---|---|---|---|---|
| BHS-2KA-P-R0型 | 康塔尔 | 氮化 铝 | SUS304 或 Mo | 800°摄氏度 | K |
| BHS-2CC-P-R0型 | C/C复合材料 | 氮化 铝 | SUS304 或 Mo | 1600°摄氏度 | C |
| BHS-2Ta-P-R0型 | 钽 | 氮化 铝 | SUS304 或 Mo | 1400°摄氏度 | C |
Φ4寸加热器外观（有效加热范围Φ104.0mm）
| 零件编号 | 加热元件 | 盘子 | 外壳护罩 | *高温度 | 热电偶 |
|---|---|---|---|---|---|
| BHS-4KA-P-R0型 | 康塔尔 | 氮化 铝 | SUS304 或 Mo | 800°摄氏度 | K |
| BHS-4CC-P-R0型 | C/C复合材料 | 氮化 铝 | SUS304 或 Mo | 1600°摄氏度 | C |
| BHS-4Ta-P-R0型 | 钽 | 氮化 铝 | SUS304 或 Mo | 1400°摄氏度 | C |
※ 无前板
零件编号 代码“E”
，例如 BHS-2KA-E-R0
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