ESPEC埃斯佩克大型洁净烤箱 LTM-2201052 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：ESPEC埃斯佩克大型洁净烤箱
产品型号：LTM-2201052
产品厂商：ESPEC埃斯佩克
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简单介绍：

随着电子元件变得越来越小，热处理对清洁环境的要求越来越高。例如，过去不是什么问题的灰尘，对日益小型化的电子元件的可靠性产生了重大影响，而在半导体生产过程中，甚至生产过程中使用的夹具也要求清洁。。它来了。 “大型洁净烤箱1500”满足了这一需求。可以一次对大量样品进行热处理，满足了日益增长的“在清洁环境中进行热处理”的需求。

详情介绍：

此外，由于需要降低半导体制造成本，因此需要更大的洁净烤箱。如果晶圆尺寸从200毫米增加到300毫米，表面积将增加2.25倍，可切割的芯片数量大约是原来的两倍。由于无论尺寸大小，烘烤时间都是相同的，因此产量也会增加一倍。当然，这个过程需要更大的烤箱。

兼容大量样品和较大样品: 内部方法已扩展到处理大批量样品处理以及较大晶圆夹具和石英管的干燥和热处理。而且该装置为立式，安装空间小。

兼容大量样品和较大样品

: 各型号尺寸比较

清洁度等级5 （相当于FED-STD-209D等级100）/均匀热处理: 采用HEPA过滤器，内部清洁度达到5级（相当于FED-STD-209D 100级）。此外，前吹水平层流循环通风系统使高温空气在腔体内均匀循环，有助于提高产品良率。（见右图）
可在洁净室中操作（可选）: 连接排气管道，将试验室内的热空气通过排热连接口排出，烘箱机械内产生的灰尘通过总排气连接口排出，防止灰尘飞散。（客户须提供排气管）

: 前吹式水平层流循环通风系统

主要规格

模型		LTM-2201052
*大电压		AC200V 3φ3W 50/60Hz
*大消费电力		9.0kVA
性能	温度范围	(环境温度+60)至+200℃
	温度波动范围	±2.0度
	温度分布	＋100℃时±3.0℃
	升温时间	60分钟内从环境温度升至+100℃
	清洁度	温度稳定时为 5 级（相当于 FED-STD-209D 100 级）（门打开时无法保持 100 级清洁度）
尺寸	内部法	宽1000mm×高1500mm×深1000mm
尺寸	外法	W1200mm x H2250mm x D1460mm（不包括突出部分）
容量		1500L
重量		600公斤

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产品名称：ESPEC埃斯佩克 大型洁净烤箱

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