DIAVAC日本大亚溅射设备 SR-350DS-31-N 北崎国际贸易（北京）有限公司

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简单介绍：

紧凑经济，适合研发通过安装运输室和 L/UL 室（可选），也可以实现全自动溅射

详情介绍：

■ 紧凑经济，适合研发 ■ 通过安装运输室和 L/UL 室（可选），也可以实现全自动溅射

电池材料、微机械、防反射膜、阻隔膜、透明导电膜、记录介质

目的：该装置的目的是溅射各种材料

真空室（溅射室）	圆柱形，SUS304，内部尺寸ф350 x H270 顶盖上升旋转式（空气液压驱动）极限压力：1x ^10-4Pa以下带百叶窗的窥视孔烘烤加热器（可选）溅射式（可改为溅射式）
阴极	2“ 磁控管阴极 4 个用于磁性靶材的阴极（可选）远程操作单个百叶窗（可选：定时器驱动） RFxRF 或 RFxDC（可选）可同时放电
PCB支架	ф280旋转基板支架 3~30rpm连续旋转或90º步进给水冷却（可选：300ºC加热）可反向溅射（RF300W）（可选）
排气系统	300 L/sec TMP + RP（可选：可改为干泵）通过蝶阀调节电导率（手动）自动运行排气和干气泄漏
气体基	质量流量控制器：2线（可选：可加装气体系列）
真空计	宽带电离真空计 + 皮拉尼真空计
溅射电源	2 x RF300W（可选：可添加直流电源）两个单元都是自动匹配的
效用	安装空间：约W2000 x D1000 x H1500冷却水：3 L/min，0.1~0.15 MPa 电源容量：3ф 200V 5kVA 溅射气体，泄漏干燥气体
选择	请参考以上运输室、装卸室等项目。

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产品名称：DIAVAC日本大亚溅射设备