产品名称：DIAVAC日本大亚油扩散泵水冷系列

■ 采用喷射能力增加的射流可获得较大的抽速 

■ 射流是一种装配方式。 通过松开顶部喷嘴的螺栓和螺母，可以完全拆卸，并且每个阶段喷嘴都可以轻松清洁。

■ 各种小型~大型排气设备（电子显微镜、分析仪、电子束焊接机、冶金设备等）

格式	DPF-2Z型
抽速*1 L/s	不带挡板：125 带挡板：58
极限压力*2 Pa	机油 A 组（Lion S）：带挡板 7.5×10-5 机油组 B（硅 F-5）：带挡板 ×10-6
满载临界背压*3 Pa	20
回流 mg/cm2 min	无挡板：×10-2 水冷挡板：×10-4
液压油*4 A组	标准：Lion S
液压油*4 B组	硅 F-5
油量 mL	50
电源 V/ф	100/1
功率 W	A组：330人 B组 ：400 人
启动时间*小值	15
需水量*5 L/min，20ºC	0.5
重量 kg	4

格式	DPF-3Z型
抽速*1 L/s	不带挡板：280 带挡板：150
极限压力*2 Pa	机油 A 组（Lion S）：带挡板 7.5×10-5 机油组 B（硅 F-5）：带挡板 ×10-6
满载临界背压*3 Pa	20
回流 mg/cm2 min	无挡板：×10-2 水冷挡板：×10-4
液压油*4 A组	标准：Lion S
液压油*4 B组	硅 F-5
油量 mL	100
电源 V/ф	100/1
功率 W	A组：500人 B组 ：650 人
启动时间*小值	20
需水量*5 L/min，20ºC	1.0
重量 kg	6

格式	DPF-4Z型
抽速*1 L/s	不带挡板：380 带挡板：215
极限压力*2 Pa	机油 A 组（Lion S）：带挡板 7.5×10-5 机油组 B（硅 F-5）：带挡板 ×10-6
满载临界背压*3 Pa	20
回流 mg/cm2 min	无挡板：×10-2 水冷挡板：×10-4
液压油*4 A组	标准：Lion S
液压油*4 B组	硅 F-5
油量 mL	150
电源 V/ф	100/1
功率 W	A组：700人 B组 ：900 人
启动时间*小值	20
需水量*5 L/min，20ºC	1.5
重量 kg	8

格式	DPF-6Z型
抽速*1 L/s	不带挡板：810 带挡板：465
极限压力*2 Pa	机油 A 组（Lion S）：带挡板 7.5×10-5 机油组 B（硅 F-5）：带挡板 ×10-6
满载临界背压*3 Pa	15
回流 mg/cm2 min	无挡板：×10-2 水冷挡板：×10-4
液压油*4 A组	标准：Lion S
液压油*4 B组	硅 F-5
油量 mL	340
电源 V/ф	200/1
功率 W	A组：1000人 B组 ：1300 人
启动时间*小值	20
需水量*5 L/min，20ºC	3.0
重量 kg	20

格式	DPF-8Z型
抽速*1 L/s	不带挡板：1450 带挡板：790
极限压力*2 Pa	机油 A 组（Lion S）：带挡板 7.5×10-5 机油组 B（硅 F-5）：带挡板 ×10-6
满载临界背压*3 Pa	15
回流 mg/cm2 min	无挡板：×10-2 水冷挡板：×10-4
液压油*4 A组	标准：Lion S
液压油*4 B组	硅 F-5
油量 mL	500
电源 V/ф	200/1
功率 W	A组：1400人 B组 ：1800 人
启动时间*小值	25
需水量*5 L/min，20ºC	4.0
重量 kg	30

格式	DPF-10Z型
抽速*1 L/s	不带挡板：2070 带挡板：1200
极限压力*2 Pa	机油 A 组（Lion S）：带挡板 7.5×10-5 机油组 B（硅 F-5）：带挡板 ×10-6
满载临界背压*3 Pa	15
回流 mg/cm2 min	无挡板：×10-2 水冷挡板：×10-4
液压油*4 A组	标准：Lion S
液压油*4 B组	硅 F-5
油量 mL	820
电源 V/ф	200/1
功率 W	A组：1900 B组 ：2500
启动时间*小值	25
需水量*5 L/min，20ºC	5.0
重量 kg	41

格式	DPF-14Z型
抽速*1 L/s	不带挡板：3600 带挡板：2350
极限压力*2 Pa	机油 A 组（Lion S）：带挡板 7.5×10-5 机油组 B（硅 F-5）：带挡板 ×10-6
满载临界背压*3 Pa	15
回流 mg/cm2 min	无挡板：×10-2 水冷挡板：×10-4
液压油*4 A组	标准：Lion S
液压油*4 B组	硅 F-5
油量 mL	1600
电源 V/ф	200/3
功率 W	A组：4500人 B组 ：6000 人
启动时间*小值	30
需水量*5 L/min，20ºC	7.0
重量 kg	120

*1：DPF-2Z~DPF-14Z的抽速按照JIS B 8317-1测量。 使用我们的电离真空计测量。 使用的液压油：Lion S
*2：极限压力是用我们的电离真空计测量的。 使用的液压油：Lion S
*3：DPF-2Z~DPF-14Z的临界背压是按照JIS B 8317-2的测量值。 使用我们的皮拉尼真空计测量。 使用的液压油：Lion S
*4：A组液压油可选，Neobag SX和硅胶F-4。
*5：油扩散泵的冷却水温度在入口侧应为10°C或更高，在出口侧应为30°C或更低。
* 对于比 DPF-14Z 更大的类型，请联系我们的销售代表。
* 外观和规格如有更改，恕不另行通知。

* 请从此处下载外部尺寸图。