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产品详情
简单介绍：
详情介绍：
本设备是可以对尺寸为50*50毫米的试料进行热处理的桌上型灯加热设备。MILA-5000（对应20*20毫米的试料）系列自上市以来，一直受到广大客户的喜爱。
应客户需求，开发了可以对50*50毫米试料进行热处理的，拥有将加热炉、腔体、温度控制器一体化的紧凑机身的本机型。
特点
- 可以热处理*大W 50mm × L 50mm尺寸的样品
- *高使用温度为1200°C
- 桌面型，加热炉，腔室，温度控制器一体化
- Cold Wal结构l可以快速加热/冷却和清洁加热
- 通过连接有USB连接在电脑上，可以轻松输入温度程序
- 加热时的温度数据可以显示在计算机屏幕上（可以保存为文本文件）
用途
- Si晶圆、化合物晶圆的高速加熱
- 光CVD基板加熱等の电子材料高速加热
- 玻璃基板、陶瓷、复合材料等的热处理
- 热循环测试
- 金属材料的退火
- 涂膜的耐热性评估
- 有机材料、树脂类的加热、干燥
规格
| 温度范围 | 室温~1200°C |
|---|---|
| 升温速率 | 50°C/秒 |
| 样本量 | ☐50 或 Φ50 × t2 （mm） |
| 大气层 | 真空、气体流量 |
*真空泵系统是可选的。* 加热温度根据被加热样品的红外反射率、吸收率、热容和材料而变化。
测量数据
（1） 500°C，Δt = 3.2°C
（2） 800°C，Δt = 0.6°C
（3） 1000°C，Δt = 4.2°C
（4） 1200°C，Δt = 2.6°C
样品组件（测量 2 英寸样品时）
碳化硅涂层碳基座和石英样品架是可选部件（上图）。
效用
| 电源 | 交流200V，5kW |
|---|---|
| 冷却水 |
城市用水，流量6L/min水 压0.3MPa以上 |
| 系统大小 | 450（宽） x 492（深） x 219（高） mm 无突起 |
| 重量 | 约24kg |
选择
- SiC涂层碳基座
- 真空排气系统（RP、DRY、TMP等）
- 气体流量计（转子流量计）
- 冷却水流量开关
- 止回阀（溢流阀）
- 电力电缆、冷却水软管
- 冷却水循环器
- 手持式点焊机 （HS-9000）
- 手持式电弧焊机（HA-1H）
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