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  • 产品名称:ULVAC爱发科2ω法纳米薄膜热传导率计

  • 产品型号:TCN-2Ω
  • 产品厂商:ULVAC爱发科
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简单介绍:
能简单地评估纳米薄膜的热传导率。 在2ω测量中,是测量纳米薄膜厚度方向的热传导率的世界**的商用设备。 与其他方式相比,能简单地进行试料的制作和测量。
详情介绍:
能简单地评估纳米薄膜的热传导率。
在2ω测量中,是测量纳米薄膜厚度方向的热传导率的世界**的商用设备。
与其他方式相比,能简单地进行试料的制作和测量。

特点

  • 测量纳米级薄膜的导热系数
  • 样品准备简单

用途

  • 适合热设计所需薄膜的热导率评估(半导体器件薄膜,有机薄膜,Low-k薄膜)
  • 也可以评估热电转换材料的薄膜

规格

测量特性 室温
样本量 W10 × L10 ~ 20 × t0.3 ~ 1 (mm) (基板)
测量大气层 真空

**和标准

热性能测量方法(日本**第5426115号)

测量原理

金属薄膜采用周期加热法加热,基频(f/Hz)。因此,热能的响应频率为2 f / Hz,等于基本频率的两倍。如图所示,在由金属薄膜(0)–薄膜(1)-基板(s)组成的薄膜的情况下,金属薄膜上表面的温升T(0)可以在一维热传导模型的基础上计算出来。假设能量完全到达底部基板,T(0) 遵循方程,

img_tcn-2omega05_1.gif

(λ / W m-1-1, C/J K-1m-3, q/ W m-3, d/m , ω (=2πf ) / s-1

我们注意到实部(同相振幅)包含薄膜的信息。假设热能完全到达底部基板,则同相振幅与(2ω)成正比-0.5。薄膜(λ1的热导率由(m:斜率,n:截距)估计

img_tcn-2omega06_1.gifimg_tcn-2omega01_1.png

TCN-2ω示意图

img_tcn-2omega02_01.png

TCN-2ω测得的各种SiO2薄膜的实验结果

img_tcn-2omega03_1.png

薄膜评估

img_tcn-2omega04_1.png

样品制备

SiO2薄膜(20-100nm)-Si衬底

d1 / 纳米 19.9 51.0 96.8
λ1 / 瓦姆-1-1 0.82 1.12 1.20
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