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产品详情
简单介绍：
EGL-35型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。
拥有*大输入功率10kW的坩埚。
由于坩埚容量大，每个40cc，因此可以进行厚膜的高速蒸发。
详情介绍：
EGL-35型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。拥有*大输入功率10kW的坩埚。
由于坩埚容量大，每个40cc，因此可以进行厚膜的高速蒸发。
特点
- 采用40cc大容量锅炉，可实现大体积成膜。
- 由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。
- 即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。（日本**831485号.843447号）
- 电子束270°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。
- 发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。
规格
| 加速电压 | -4kV～-10kV DC | |
| 电子束电流 | MAX 1.0A（加速电压-10kV时） | |
| *大输入功率 | 10kW（-10kV, 1.0A） | |
| X轴偏转线圈 |
0.4～3.5A MAX-18V DC 2.8Ω（室温20℃内） |
|
| Y軸偏转线圈 |
0～±2A MAX±12VDCmax 6Ω×2（室温20℃内） |
|
| 灯丝 | 0～6V AC MAX40A | |
| 坩埚 | 容量 | 40cc |
| 尺寸 | 50Φ×41Φ×25H | |
| 电子束偏向角度 | 270° | |
| 有蒸发角度 | 120°以上 | |
| 蒸发速度 | 1.8μm/min以上（A110kW、炉膛上250H） | |
| 冷却水量 | 10L/min以上（*大输出0.7MPa） | |
| 水温 | 15～25℃ | |
| 外形尺寸 | 110H×79W×206D | |
| 重量 | 10kg | |
| 适用电源 | HPS-1000N, HPS-1600F | |
| 参考 |
1. 可以连接送丝机 2. 建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的冷却水。 |
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