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- NBK锅屋工装夹具
- AKRIBIS雅克贝斯精密平...
产品详情
简单介绍：
EGN系列是以提高可维护性为主轴新开发的金属蒸发用EB枪。
采用平顶结构，减少了EB枪的着膜面积，实现了易维护性。
详情介绍：
EGN系列是以提高可维护性为主轴新开发的金属蒸发用EB枪。
采用平顶结构，减少了EB枪的着膜面积，实现了易维护性。
特点
- 采用了平顶结构，减少了电子束蒸发源上的成膜区域，使清洁变得容易
- 采用新的发射结构可将部件数量减少到传统产品的60％，从而简化了装配
- 适用于金属成膜，氧化物/化合物点光束。
- 作为设备制造商经验积累的成果
用途
-
电子束蒸发的蒸发源
规格
型 EGN-206M型 EGN-406M型 偏转角度 270° 270° 坩埚数量 6 6 坩埚容量 20毫升 40毫升 冷却水流量 10L/分钟 10L/分钟 尺寸 W×D×H 267毫米×343毫米×150毫米 267毫米×343毫米×150毫米 重量 28公斤 28公斤
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