产品详情
简单介绍：
ULVAC的真空阀是基于ULVAC在真空领域丰富的技术和经验开发的。
从大气压到极高真空，对应广泛的需求提供丰富的系列产品。
详情介绍：
ULVAC的真空阀是基于ULVAC在真空领域丰富的技术和经验开发的。从大气压到极高真空，对应广泛的需求提供丰富的系列产品。
特点
- SUS角阀可以烘烤至150℃。
- 连接法兰有4种类型可选择：JIS-VF，ISO-KF，ISO-K和ISO-CF。
- 提供单动式和复动式2种。 单动式仅需要一个气动管线。
- 不锈钢材料。 （但是，VLP-U由铁制成，VAP，VAH和VFR由铝制成。）
规格
| 型 | VLH-MB型 |
|
阀板 *大容许压差（正压/反压）MPa |
0.10 |
| 开启方向*大容许差压（正压/反压）MPa | 0.10 |
| 板式密封 | O型圈 |
| 馈通件 | 风箱 |
| 冲动 | 手动 |
| 外部泄漏率*1帕拉・m3/秒 | ≦1.0E-10 |
| 内部泄漏率*1帕拉・m3/秒 | ≦1.0E-10 |
|
工作压力范围 （**压力）Pa |
大气压 ~ 1.0E-8 |
|
烘烤温度 （停止时）*2°C |
机身：150*3， 驱动：70 |
| 工作环境温度 °C | 5~70 |
| 流体温度 °C | 5~70 |
| 加热和冷却速度°C/h | ≦30 |
| 工作环境 | 无腐蚀性 |
| 流体 | 无腐蚀性 |
| 压缩空气到气缸 MPaG | ー |
| 保证运行周期*4 | 10,000 |
| 取向 | 无限制 |
| 位置指示器 | ー |
| 主要部件材料（真空侧） | 不锈钢 304 |
| 主要部件材料（气氛侧） | 不锈钢 304，铝-6061（阳极氧化铝） |
| 波纹管材料 | 不锈钢 316L |
| 密封材料（真空侧） |
外密封：金属 内密封：FKM |
| 润滑脂（真空侧） | 不使用任何润滑脂 |
| 起重附件 | 没有*5 |
| RoHS认证 | 遵守 |
*1 泄漏率不包括O型圈的渗透。在O型圈轴封馈通的情况下，打开和关闭过程中的外部泄漏不受调节。
*2 烘烤过程中请勿打开和关闭。
*3 关于 VLP-MB 和 VLH-MB，打开位置的*高烘烤温度：200°C （392F） 和关闭位置：150°C （302F）。
*4 详见使用说明书。
*5 VLP-SA350JH 包括起重附件（吊环螺栓 M12 x 2 个）。
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