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- AKRIBIS雅克贝斯精密平...
产品详情
简单介绍：
CRTS-M6是为水晶振荡式成膜控制器CRTM系列开发的回转式多传感器。
可以搭载5MHz或者6MHz的水晶振荡片6枚，连续蒸发也可放心使用。
详情介绍：
CRTS-M6是为水晶振荡式成膜控制器CRTM系列开发的回转式多传感器。可以搭载5MHz或者6MHz的水晶振荡片6枚，连续蒸发也可放心使用。
特点
- 可搭载6枚5MHz或6MHz的水晶振动子
- 使用了真空电机的独特驱动方式实现了高可靠性
- 水晶震动子的更换非常方便
- 当检测到水晶振动子振荡异常时，可以自动进行水晶振动子切换（当CRTM系列用作控制器时）
- 由于传感器头很小（直径50mm），可以灵活地连接到成膜系统。
用途
- 光学、光通信部品的蒸发
- 有机物的蒸发
- 电子部品,其他蒸发
规格
| Sensor head | |
| Equipped crystal number | 6 pieces |
| Capacity of crystal | 4MHz, 5MHz or 6MHz(Selectable) AT cut crystal |
| Heat resistance temperature | 350℃ |
| Cooling water volume | 1L / min |
| Weight | 1kg |
| Dimension | Φ50mm x H 約89mm |
| Controller | |
| Digital input | INIT, CNT, STOP |
| Digital output | Sensor No., BUSY, ERROR, RETRY, END |
| Utility | DC24V, 3.0A |
| Dimension W×D×H | 100mm x 252mm x 99mm |
产品留言
