ULVAC爱发科低温泵 CRYO-U22H 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：ULVAC爱发科低温泵
产品型号：CRYO-U22H
产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

详情介绍：

特点

特别适用于大型成膜设备。
水的排气速度*高。

标准规格

排气速度(20℃)	氮	L/s	17,000
	氢		25,000
	氩		14,000
	水		39,000
极限压力	Pa(Torr)		10^-7(10^-9)
*大流量	氩	Pa・L/s(Torr・L/s)	4.1×10³(31)
	氢		1.3×10³(9.6)
排气容量	氩	Pa・L(Torr・L)	8.1×10⁸(6.1×10⁶)
	氢		8.5×10⁶(6.4×10⁴)
冷却下降时间(动力循环)	min(Hz)		150/135 (50/60)
吸气口法兰			VG-550
压缩机组			C30VRT×2
重量		Kg	125.0

*保养周期：16,000小时
U22H,U30H fall under category of export contol products
Corresponds to export control product suach as strategic time
Please take nessecary procedure for Export permisson from Japan goverment

外形尺寸 (单位:mm)

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产品名称：ULVAC爱发科低温泵

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