ULVAC爱发科低温泵 CRYO-U16 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：ULVAC爱发科低温泵
产品型号：CRYO-U16
产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

详情介绍：

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

*适用于中，大型设备。
*适用于批量型大型成膜设备。
热负荷能力强。

标准规格

排气速度(20℃)	氮	L/s	5,000
	氢		10,000
	氩		4,200
	水		16,000
极限压力	Pa(Torr)		10^-7(10^-9)
*大流量	氩	Pa・L/s(Torr・L/s)	1.4×10³(11.0)
	氢		4.1×10²(3.1)
排气容量	氩	Pa・L(Torr・L)	4.3×10⁸(3.3×10⁶)
	氢		2.4×10⁶(1.8×10⁴)
冷却下降时间(动力循环)	min(Hz)		110/100(50/60)
吸气口法兰			UVG-400
压缩机组			C30VRT
重量		Kg	61.0

*维护周期：16,000小时
*移动托盘可选

外形尺寸 (单位:mm)

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