产品名称：ULVAC爱发科摇摆柱塞式干式真空泵

特征

• 体积小，排量大。
• 干式真空泵在气体接触区域不使用油。
• 丰富的产品阵容，适合您的应用。
• 内置自动复位型热保护器的**设计。
• 可以在大气压下操作。
• 可以在所有压力区连续运行>。
• 结构简单，维护方便。

应用

• 真空吸盘，真空镊子。
• 半导体行业。（处理程序、安装程序）
• FPD行业。（邦德）
• 印刷机。
• 注塑。
• 吸附和转移。

规范

对应证书/电压

谨慎

1、主操作时泵停止，之后泵不能操作。在这种情况下，请将大气压力返回泵内部。

2. 如果泵与腐蚀性气体、有机溶剂、液体或冷凝气体（如蒸汽）一起使用，则泵将无法正常运行。如果泵与含有颗粒或灰尘等的气体一起使用，则泵通常不会正常运行。

3.作为泵滑动材料的杯形填料在操作时会磨损，并且由于部件的磨损而产生微小颗粒。此外，由于滑动材料的水分含量较弱，因此会促进磨损，如果真空气体受潮，则泵寿命会缩短。请不要吸入水分或冷凝气体（蒸汽等）。

4.它是仅在房间内使用的泵。请不要将其设置在雨水飞溅的地方和室外。

尺寸图

抽速曲线