产品详情
  • 产品名称:RENISHAW雷尼绍 差分干涉仪

  • 产品型号:RLD10
  • 产品厂商:RENISHAW雷尼绍
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简单介绍:
差分发射头具有独特的光学设计,可实现极低的SDE性能。内置的激光准直辅助镜可在设定过程中实现俯仰和扭摆角度调整,从而改进准直过程(仅适合平面镜应用)。
详情介绍:
RLD10-X3-DI发射头可通过一个简单的三针固定架安装在工作腔的外墙上。无需进入工作腔即可校正光路,内置激光准直辅助镜可对参考和测量光束的俯仰和扭摆进行独立的调整,安装系统的设计允许拆卸发射头和调整发射头位置,对系统准直的影响极小。
特性与优点
优异的测量性能 — ppb稳频精度,超低周期误差,输出分辨率达到38.6 pm。
差分配置 — 测量运动平台相对于安装立柱的位移,从而消除常见模式误差,例如与环境波动有关的工作区侧壁移动。

快速调节准直 — 采用四个内置激光准直辅助镜,很简单地在真空室外部进行准直调整,从而消除真空室和镜组安装公差。

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