产品详情
  • 产品名称:PILLAR比拉渣浆泵

  • 产品型号:PC-20MB-P2519
  • 产品厂商:PILLAR比拉
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简单介绍:
用于CMP工艺/浆料
详情介绍:

渣浆泵

特点/规格

型号/款式

PC系列

类型

用于CMP工艺/浆料

产品信息

该泵具有很高的耐化学性、耐热性和清洁度,因为所有接液部件均由氟碳聚合物制成。

PC 系列专为应对 CPM 工艺和含浆料应用而设计。

主要组成材料

液体接触部分:PFA、PTFE

主要应用

用于化学进料装置、清洗系统和 CMP 装置处理含有浆料的流体的循环管路

规格

运行过程中的液体温度:10 至 100°C
*大排气量:12、24、48L/min
送风压力:0.2 至 0.5 MPaG

※使用前请阅读操作手册。

产品分类

氟树脂产品/波纹管泵

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