产品详情
简单介绍：
通过组合多个面板加热器，即使在超过8G的大型玻璃基板上也可以精细控制温度。
半导体制造设备中使用的热板可以快速升温，温度分布均匀。
通过使用陶瓷气密端子作为端子，可以在真空中竞争功率。
详情介绍：
气热®
AEROHEAT®是一种适用于真空的长寿命加热器，基于我们的MI电缆制造技术开发。
热板加热器安装示例
带陶瓷密封端子的加热器示例
带非放热部分的微热器
长处
- 如图所示，通过组合多个面板加热器，即使在超过8G的大型玻璃基板上也可以精细控制温度。
- 半导体制造设备中使用的热板可以快速升温，温度分布均匀。
- 通过使用陶瓷气密端子作为端子，可以在真空中竞争功率。
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