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产品名称：Magnescale激光尺
产品型号：BH25
产品厂商：Magnescale
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简单介绍：

信号波长：250nm 高精度：±1μm/420mm 高速响应：1,800mm/s *大分辨率：3.8pm 产品阵容：带原点，无原点完全非接触：原理上不存在返回误差栅尺部分：ZERO玻璃，无碱玻璃厚度：12mm的薄型读头支持各种分辨率和输出格式 (BD96，BD700等，取决于内插盒) 可支持真空 (特殊规格产品)

详情介绍：

Laserscale

BH25

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BH25的特点

信号波长为250nm的高精度反射式激光尺。非常适合薄工作台，半导体后处理设备和精密显微镜

信号波长：250nm
高精度：±1μm/420mm
高速响应：1,800mm/s
*大分辨率：3.8pm
产品阵容：带原点，无原点
完全非接触：原理上不存在返回误差
栅尺部分：ZERO玻璃，无碱玻璃
厚度：12mm的薄型读头
支持各种分辨率和输出格式 (BD96，BD700等，取决于内插盒)
可支持真空 (特殊规格产品)

规格

主要规格
激光尺使用半导体激光。激光对人体有害，所以请勿直视检测头记载内容如有更改，恕不另行通知
型号	BH25-RED	BH25-NED
测量范围 (mm)	30 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420 / 470 / 520 / 570 / 640 (ZERO玻璃，无碱玻璃)
栅尺全长	测量范围+26mm
*大可动长度	测量范围+10mm
精度 (20℃时)	±0.5μm (30 ～ 170 mm)　±1.0μm (220 ～ 420 mm)
光栅间距	1.0μm
信号波长	0.25μm (250nm)
原点位置	1个	无
原点检测方向	单方向	－
温度膨胀系数	0.1×10-6/℃ (ZERO玻璃)　3.7×10-6/℃ (无碱玻璃)
光源	半导体激光　波长 790nm　输出 6mW
检测方式	衍射光栅扫描
工作温度范围	10 ～ 30℃ (不得有结露)
保存温度范围	－10 ～ 50℃ (湿度必须为60％或更低)
*大响应速度	1,800mm/s
输出信号	连接内插盒等
输出分辨率	取决于内插盒分割数

使用说明书

产品目录

BH25 系列	日语
BH25 系列	英语

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