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产品名称：Magnescale激光尺
产品型号：BS78
产品厂商：Magnescale
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简单介绍：

信号波长为138nm的高分辨率栅尺，超过了光波干涉仪不受湿度，气压或乱气流影响的高稳定性原点精度：±0.1µm 精度：±0.04µm 或更小 (测量范围为40mm) 完全非接触式，原理上不会产生返回误差测量范围：40 ～ 420mm，9种(-R/-RS) 测量范围：10 ～ 420mm，10种(-N/-NS) 支持真空和非磁性 (特殊规格) 使用低膨胀玻璃:－0.7×10-6/℃ (测量范围:10 ～ 420 mm) 分辨率：2.1pm

详情介绍：

Laserscale

BS78

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BS78的特点

在保持高速响应和高分辨率的同时，实现稳定的超精密测量。适用于精密工作台，半导体测试/制造设备及超精密加工机等

信号波长为138nm的高分辨率栅尺，超过了光波干涉仪
不受湿度，气压或乱气流影响的高稳定性
原点精度：±0.1µm
精度：±0.04µm 或更小 (测量范围为40mm)
完全非接触式，原理上不会产生返回误差
测量范围：40 ～ 420mm，9种(-R/-RS)
测量范围：10 ～ 420mm，10种(-N/-NS)
支持真空和非磁性 (特殊规格)
使用低膨胀玻璃:－0.7×10-6/℃ (测量范围:10 ～ 420 mm)
分辨率：2.1pm

规格

主要规格
激光尺使用半导体激光。激光对人体有害，所以请勿直视检测读头记载内容如有变更，恕不另行通知
型号	BS78
测量范围:L(mm)	10 / 40 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420 (10**N/NS)
栅尺全长	58mm (测量范围 10mm：悬臂式)　测量范围 +26mm (测量范围 40 ～ 420 mm)
*大可动长度	测量范围 +2mm (测量范围 10mm：悬臂式)　测量范围 +10mm (测量范围 40 ～ 420 mm)
精度 (20℃时)	NS型/RS型： ±0.03μm (测量范围 10mm) (**NS型) ±0.04μm (测量范围 40mm) ±0.10μm (测量范围 70 / 120mm) ±0.18μm (测量范围 170 / 220mm) ±0.25μm (测量范围 270mm) ±0.34μm (测量范围 320mm) ±0.39μm (测量范围 370mm) ±0.44μm (测量范围 420mm)	N型，R型： ±0.06μm (测量范围 10mm) (**N型) ±0.08μm (测量范围 40mm) ±0.20μm (测量范围 70 / 120mm) ±0.35μm (测量范围 170 / 220mm) ±0.50μm (测量范围 270 ～ 370 mm) ±0.65μm (测量范围 420mm)
光栅间距	约0.55μm
信号波长	约0.138μm (约138nm)
原点精度	±0.1μm (**R/RS型)
原点位置	中央及从中央向左右分别每次前进50mm处 (在测量范围为320，370，420mm时，原点位置为以50mm为间隔从中央20mm处置位)
原点检测方向	单方向
温度膨胀系数	－0.7×10-6/℃
光源	半导体激光波长 790nm 输出 6mW
辐射功率	DHHS级1
检测方式	衍射光栅扫描
工作温度范围	10 ～ 30℃ (不得有结露)
保存温度范围	－10 ～ 50℃ (湿度为60％或更低)
*大响应速度	400mm/s

外径尺寸图

产品名称		2D		3D
产品名称		日语	英语	3D
BS78	N	下载	下载	–
BS78	NS	下载	下载	–
BS78	R	下载	下载	–
BS78	RS	下载	下载	–

使用说明书

产品名称	日语	英语	德语
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BS78 系列	日语
BS78 系列	英语

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