SHINKUU真空设备等离子处理设备 PCU-30 北崎国际贸易（北京）有限公司

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简单介绍：

PCU-30 是一种去除电子显微镜样品观察中的污染并提高分辨率和分析性能的设备。低功耗RF 13.56MHz激发等离子体辐照可实现高效清洁，减少样品损坏。可以对 TEM、SEM、FIB 样品、样品架和隔膜进行抗污染处理。腔室排气是一个完全清洁的排气系统，带有涡轮分子泵和涡旋泵。

详情介绍：

将桌面式、紧凑、节省空间、操作简单融入商品化设计中，使其成为用户使用方便的节能设备。
它与空气、氩气、氩气氧和各种其他加工气体兼容。射频电源*高为50W以下，无需报告高频电源。

您在SEM观察中遇到污染问题吗？ PCU-30 用于**样品上的污染物并实现重复观察。
样品：金蒸气沉积颗粒
SEM：日立 S-4100 （15KV）

通过 SEM 观察电子束照射污染和等离子体照射去除污染（第 1 次）。
（射频激发的氩等离子体，20Pa/30W/4min辐照）

通过SEM观察电子束照射重新附着污染物，并通过等离子体照射去除污染物（**次）。
（射频激发的氩等离子体，20Pa/30W/4min辐照）

我们将根据要清洁的支架设计腔室形状。支持 SEM 和 TEM 样品。

主要产品规格

项目	规范
权力	AC100V（单相100V15A）
设备大小	宽 480 mm，深 440 mm，高 390 mm（安装 270 mm） * 腔室高度因规格而异。（设备重量：约 40 kg（取决于腔室规格））
涡旋泵重量	约14kg（ISP-90）
排气系统	TMP67升/秒、SCRP90升/分钟
等离子电源	频率 13.56MHz，输出 0~50W

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产品名称：SHINKUU真空设备等离子处理设备