产品详情
  • 产品名称:SHINKUU日本真空设备 溅射设备通用型

  • 产品型号:MSP-20MT
  • 产品厂商:SHINKUU真空设备
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简单介绍:
该装置用于在电子显微镜样品上涂覆贵金属薄膜并进行导电处理。 它易于操作,无需复杂的操作程序,并配备了一个 4 英寸的目标,甚至可以在大样品上涂覆。
详情介绍:

主要产品规格

项目 规范
权力 AC100V,15A
3芯插头,带地线
设备机身尺寸 宽 350 mm x 深 440 mm x 高 350 mm
(设备重量 20 Kg)
旋转泵 抽速:50l/min(GLD-051)(
重量:14.6kg)
试样室尺寸 内径 149 mm x 高 82 mm (硬玻璃)
电极-样品台间距 50毫米
样品台 Φ100毫米
可加载样本量 > Φ100mm (安装尺寸Φ130mm) 高度
35mm
溅射靶材规格 Φ100mm(有效直径98mm),厚度0.1mm
Au、Pt、Pt-Pd、Pd、Ag
大气气体 空气或氩气
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