产品详情
  • 产品名称:SHINKUU日本真空设备 涂覆贵金属薄膜

  • 产品型号:MSP-20UM
  • 产品厂商:SHINKUU真空设备
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简单介绍:
SEM观察样品的传导处理。 为FIB制作保护膜。 用于元素分析的传导处理。 此外,它还用于广泛的用途,例如电极制造和抗氧化膜。
详情介绍:

该装置用于在电子显微镜样品上涂覆贵金属薄膜并进行导电处理。 为了满足各种应用,它配备了大气气体引入机构、气体气氛压力调节功能和电流调节功能。 此外,还可以根据条件设置自动执行一系列涂层操作。 它配备了一个旁路排气系统,可*大限度地减少杂质污染,联锁装置可防止误操作,倾斜旋转机构可提高转弯性能。


主要产品规格

项目 规范
权力 AC100V(单相100V15A)1端口3芯插头,带
地线
设备大小 宽 350 mm x 深 420 mm x 高 347 mm
(设备重量 18 Kg)
旋转泵 抽水速度:50l/min(GLD-051)重量
:14.6kg
试样室尺寸 内径 149 mm x 高 82 mm (硬玻璃)
电极-样品台间距 40毫米
试样载物台尺寸 Φ50mm(浮动式)
* 使用时可选倾斜旋转
倾斜角度:0~45° 转速:60rpm
可加载样本量 标准:≦Φ50mm,高度≦20mm
*使用时可选倾斜旋转
倾斜:≦Φ20mm,高度≦20mm
溅射靶材规格 Φ51mm,厚度0.1mm(仅银0.5mm)
铂、金、金-钯、铂-钯、钯、银
大气气体 空气或氩气


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