产品详情
  • 产品名称:YAMAMOTO-MS山本镀金A-52硅晶圆电镀实验室设备

  • 产品型号:A-52-ST□-P01A型
  • 产品厂商:YAMAMOTO-MS 山本鍍金試験器
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简单介绍:
这是一款用于2~12英寸硅片的电镀设备。 通过使用专用夹具,可以进行半导体和MEMS的精密电镀。 它具有从罐底产生温和对流的结构,同时不断过滤和溢流,并且有两种类型的溢流:单侧溢流型和双侧溢流型,可实现高速搅拌。 桨式搅拌用于直接搅拌。
详情介绍:

它也可以用作生产设施。
此外,在日本和海外已获得多项**,其他几项申请正在申请中。 *PC 单独出售

基板材料

它不仅可以用于硅晶圆,还可以用于由碳化硅、玻璃、砷化镓和磷化铟等材料制成的衬底。

关于定制生产

在标准设备的基础上,可根据客户样品定制形状的夹具或双面电镀夹具。 我们还拥有阳极氧化和阳极氧化夹具等制造设备的良好记录。 夹具也有类型,例如全封闭夹具、非密封夹具和卧式夹具,请随时与我们联系。

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A-52-ST□AWJYPPA 硅晶圆电镀实验室设备套装 WJ 型(用于 YPP 电源)

产品编号 产品名称 数量

A-52-ST□-P01A型

硅片水箱(亚克力双底型) 1
A-52-ST□-P02A型 硅晶圆用阴极盒(标准型)(*1) 1
A-52-ST□-P09A型 硅晶圆用阳极支架(带拉丝阳极背面)(*2) 1
A-52-ST□-P04D 桨叶式搅拌器 1

B-90-A20-APFA05/
B-90-A40-APFWJ05

迷你迷你过滤器 20APFA 型(2-6英寸用)

迷你迷你过滤器 40APFWJ(用于 8 英寸)

1
编号:A-63-M202
编号:B-92-M10-P04A

气泵 M202 (AC100V) (2-4寸) 10L水箱气泵 (5-8寸)

1
编号:A-52-P18 空气滤清器 1
A-52-ST2-P10WJ B-85WJ

B-83WJB2
B-95-1A
WJ2型威化水族加热器(2英寸) 300W PFA涂层加热器(AC100V) 300W石英小型浸入式加热器WJB(5-6英寸) 500W石英加热器(8英寸)


2
1 3

3
温度传感器,加热器停止 1

(*1) 请从Orifra型/缺口型中选择。 也有密封/吸气密封型。
(*2) 膜片型也可用于不溶性阳极。
(*3) 产品编号上的□标记包含英寸数。
这是一套用于 YPP 电源的。 电源、温度控制器和阳极板单独出售。 请分别指定 A-57-15031WA、A-57-15100WA、A-57-15101D 的电源。 PC 单独出售。

强力搅拌水箱(双面溢流式,搅拌速度约2倍

通过将溢流从一侧减少到两侧,桨叶搅拌速度已提高到*大 1 rpm。 提高了液体的混合效率,可以更稳定地镀层。 此外,还增加了液体防溅结构。

产品编号 产品名称 数量

A-52-ST□-U型

硅片水箱(亚克力双底型) 1
  • 它目前是按订单生产的产品。 请联系我们了解尺寸和规格。
  • 根据镀层的类型和尺寸,我们可能会提出三面溢流型。
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