兼容静电电位传感器 KASUGA春日电机 KS-3101 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：兼容静电电位传感器 KASUGA春日电机
产品型号：KS-3101
产品厂商：KASUGA春日电机
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简单介绍：

在真空中，减轻静电的气体成分**，因此静电会导致比大气压环境中更严重的生产问题。真空兼容静电势传感器是可用于测量真空中产生的静电的传感器，使用可在真空环境中使用的材料和组件。使用它来确定真空过程中产生静电的原因，并持续监测静电势。

详情介绍：

KASUGA春日电机兼容静电电位传感器 KS-3101

在真空中，减轻静电的气体成分**，因此静电会导致比大气压环境中更严重的生产问题。

真空兼容静电势传感器是可用于测量真空中产生的静电的传感器，使用可在真空环境中使用的材料和组件。使用它来确定真空过程中产生静电的原因，并持续监测静电势。

特性

大气压和真空下的线性度

该图显示了使用 KS-3101 在真空室中施加任意电压的充电板电位的测量结果。即使在不同的压力环境下（真空下10-3Pa，大气压下10+5Pa），无需校准即可获得相同的读数。

* 此数据为实际测量值，并非保证值。

测量真空兼容静电势传感器对真空室的影响

●除气分析比较

对传感器发出的释气的分析证实，气体的主要成分是水和微量的碳氢化合物。由于每个峰与背景中测量的峰相同，因此认为它来自从环境中吸附在传感器表面的气体。

●可达到的真空度比较

排气系统：涡轮分子泵TG220FCAB大阪真空设备制造株
式会社抽速：220升/秒（N2）
腔室尺寸：φ300×升300mm

* 此数据为实际测量值，并非保证值。

规范

型 KS-3101

检测方法振动表面电位传感器

推荐真空 10 5Pa（大气压），10 -1~10 -5帕

测量范围
高量程：0~±20.0kV（测量距离100mm）

低量程：0~±2000V（测量距离10mm）

测量精度 ± 10% 以内

报警检测传感器故障LED显示屏

使用环境温度0~40°C，湿度65%以下（无冷凝）

质量约130g（不包括电缆和控制盒）

配置要点
真空电缆：KS-3101-C01（电缆长度1m，可伸缩）

控制箱：KS-3101-B05（带大气侧电缆5M，可扩展）

控制器： KSD-0110 或 KSD-0120

* 请自行准备真空法兰。

配置

控制器

KSD-0110

与触摸屏和SD卡兼容的高性能类型

KSD-0120

强调可见性的简单类型

* 请在各自的页面上查看控制器 KSD-0110 和 KSD-0120 的规格。

每个零件的尺寸和名称

（1）测量部分（2）零点调节单元（3）外壳（不锈钢镜面）（4）安装垫片（特氟龙）（5）量程选择开关
（6）操作/故障指示灯（7）充电指示灯（0， +， -）（8）专用电缆

（带连接器）

型	KS-3101
检测方法	振动表面电位传感器
推荐真空	10 5Pa（大气压），10 -1~10 -5帕
测量范围	高量程：0~±20.0kV（测量距离100mm）低量程：0~±2000V（测量距离10mm）
测量精度	± 10% 以内
报警	检测传感器故障LED显示屏
使用环境	温度0~40°C，湿度65%以下（无冷凝）
质量	约130g（不包括电缆和控制盒）
配置要点	真空电缆：KS-3101-C01（电缆长度1m，可伸缩）控制箱：KS-3101-B05（带大气侧电缆5M，可扩展）控制器： KSD-0110 或 KSD-0120