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- NDK日本电色雾度计
- DRY-CABI德瑞卡比防潮...
产品详情
简单介绍：
北崎热销SATOVAC 佐藤真空
详情介绍：
紧凑的高性能辊涂机，适合研发和小批量生产。 有等离子体处理、溅射和气相沉积装置。
主要规格
| 极限压力 | ×10\u5 Pa |
|---|---|
| 真空计 | BA压力计，电容压力计 |
| 工件尺寸 | 宽100毫米×长200米×吨 50~100微米 |
| 进给率 | 0.2~4米/分钟（连续/CCW可能） |
| 真空室 | 不锈钢304 宽500×高850×深450mm |
| 玉米卷 | φ250水冷 |
| 轴封 | 使用磁性密封件 |
| 预沉积等离子体处理 | 13.56MHz 射频电极 ×1 |
| 蒸发源 |
（1） 70×200 直流磁控管型，*高 × 2 （2） 电阻蒸发源 |
| 主泵 | TMP 1100L/s |
| 排湿 | 克里奥超级陷阱 |
| 工艺气体 | Ar ， O 2 ， N2 ， 质量流量控制器 |
| 面积 | 4㎡ |
| 效用 | ・AC200V 3φ 100A ・冷却水 |
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