SATOVAC佐藤真空紧凑型CVD设备<SFCV>系列 SFCV-1501 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：SATOVAC佐藤真空紧凑型CVD设备<SFCV>系列
产品型号：SFCV-1501
产品厂商：SATOVAC 佐藤真空
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简单介绍：

北崎热销SATOVAC 佐藤真空

详情介绍：

这是一种管式高温热CVD装置，适用于大学和研究机构开发石墨烯等烃类化合物的各种材料。它已经小型化，因此可以通过简单的操作制造小批量和小型试件，同时实现了显着的成本降低。
此外，它还配备了5~100Pa的压力控制功能，这是小尺寸难以实现的，因此可以支持更广泛的加工模式。对于Sarako碳氢化合物系统的易燃气体，我们配备了**装置，例如通过警报检测和大气排放气体稀释装置关闭设备。

主要规格

炉芯管	透明石英管（加热温度100~1000°C）
炉芯管	氧化铝管（加热温度1000~1400°C）
反应气体供应	2~60sccm（氢气、甲烷、乙烷、工业苯乙烯、乙炔、苯等）
压力控制	5~100Pa
防止易燃气体排放到大气中的措施	通过喷射器用低于易燃混合范围的空气稀释的废气

设备配置

型			SFCV-1001	SFCV-1003	SFCV-1501
管式炉	炉芯管	材料	透明石英管		氧化铝管
	炉芯管	钻	φ24毫米、φ50毫米		φ24毫米
	加热温度	习惯性使用	100~1000°C		500~1400°C
	加热温度	麦克斯	1150°C		1500°C
	加热面积		1 个区域	3 个区域	1 个区域
	加热器容量		1.0千瓦	2.4千瓦	1.2千瓦
真空抽真空	油旋转真空泵		抽速：100~150升/分
供气	质量流量控制器		流量：10~100sccm
供气	气管流量计		流量：10~100sccm
气体稀释	空气喷射器		风量：15N升/分钟
真空计	压力控制		电容压力计：0.133~1330Pa，100Pa~133kPa
真空计	大气减压		数字耦合：-100kPa~+100kPa
控制	温度控制		程序控制
控制	压力控制		阀门开/关控制
操作面板			设备开关、程序温度控制器、真空计显示：温度、真空度、操作设备开/关、报警、电源
权力	单相的		100V・30A	100V・50A	200V・20A
外部尺寸	宽×深×高		1450×500×1200毫米
质量			125公斤	134公斤	128公斤

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